PEMBUATAN SENSOR GAS HIDROGEN BERBASIS FILM TIPIS GaN DENGAN TEKNIK SOL GEL SPIN COATING UNTUK KOMPONEN PADA SISTEM PENDETEKSI KEBOCORAN GAS

PEMBUATAN SENSOR GAS HIDROGEN BERBASIS FILM TIPIS GaN DENGAN TEKNIK SOL GEL SPIN COATING UNTUK KOMPONEN PADA SISTEM PENDETEKSI KEBOCORAN GAS

<p>Penelitian ini bertujuan untuk membuat sensor gas dengan sensitivitas baik, dipergunakan sebagai komponen dalam sistem pendeteksi kebocoran gas hidrogen. Bahan dasar sensor berbahan  film tipis semikonduktor Gallium Nitrida (GaN) yang ditumbuhkan di atas substrat sapphire (Al2O3) menggunak...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: D. Rusdiana
Format: Article
Language:English
Published: Universitas Negeri Semarang 2013-01-01
Series:Jurnal Pendidikan Fisika Indonesia
Subjects:
Hydrogen Gas Sensor
GaN film
spin coating sol ge techniques.
Online Access:https://journal.unnes.ac.id/nju/index.php/JPFI/article/view/2583
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Similar Items

Similar Items