Ara yüzey seviyelerinin ve seri direncin Sc2O3 MOS kapasitörünün elektriksel karakteristiği üzerine etkisi
Bu çalışmanın amacı, ara yüzey seviyelerinin ve seri direcin(Rs) Sc2O3 (Skandiyum oksit) MOS (Metal OksitYarıiletken) kapasitörünün elektriksel karakteristiği üzerine etkisini frekansabağlı olarak incelemektir. Sc2O3 MOS kapasitörü RFmagnetron saçtırma sistemi ile p tipi Si (100) üzerine üretilmişti...
Saved in:
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Sakarya University
2018-06-01
|
| Series: | Sakarya Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://dergipark.org.tr/tr/download/article-file/441617 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|