The effect of three-minute exposure of oxygen plasma on the properties of tin oxide films by Е.А. Дмитриева, И.А. Лебедев, Е.А. Грушевская, Д.О. Мурзалинов, А.С. Серикканов, Н.М. Томпакова, А.И. Федосимова, А.Т. Темиралиев

Get full text